核心導讀
11月3日下午,2022 CPCA國際PCB技術(shù)/信息論壇”以“智造賦能 綠色發(fā)展”為主題,在深圳機場希爾頓逸林酒店順利召開。本次活動由中國電子電路行業(yè)協(xié)會CPCA主辦,CPCA科學技術(shù)工作委員會承辦,《印制電路信息》雜志社、PCB信息網(wǎng)作媒體支持。
作為PCB領域高規(guī)格、極具影響力的行業(yè)盛會。本次論壇共征集論文150篇。經(jīng)過論文評選專家組的精心閱評,依據(jù)評選規(guī)則的仔細篩選,共有50篇撰寫規(guī)范、表述清晰、內(nèi)容新穎且具有較高實用價值的論文脫穎而出,收錄于本期《印制電路信息》增刊(論文集),6篇受邀參加此次活動進行主題演講。其中光華科技的論文《系統(tǒng)級封裝深盲孔化學鍍銅的研究》成功入選,并受邀參加此次活動作主題演講。
光華科技現(xiàn)場活動展位
光華科技
系統(tǒng)級封裝深盲孔化學鍍銅的研究
楊博士
SIP(系統(tǒng)級封裝, System in Package)是一種重要的半導體先進封裝工藝,可將多種具備不同功能的器件或組合體——如有源器件、無源器件、MEMS、光電子甚至已經(jīng)封裝好的器件封裝在一起,從而形成一個功能系統(tǒng)或者亞系統(tǒng)。與系統(tǒng)級芯片相對應,不同的是SIP是采用不同芯片進行并排或疊加的封裝方式,而系統(tǒng)級芯片則是高度集成的芯片產(chǎn)品。而隨著摩爾定律逼近物理極限,?SIP被認為是半導體未來發(fā)展的重要方向,越來越受到業(yè)界的重視。
作為SIP的重要組成部分,微盲孔鍍銅(孔徑100~200μm,深徑比1~2:1)是實現(xiàn)SIP中元器件電氣互聯(lián)的關(guān)鍵一環(huán),但是當前尚未出現(xiàn)可以有效滿足SIP微盲孔鍍銅要求的工藝。現(xiàn)有微盲孔鍍銅工藝主要包括硅通孔(TSV)和印制電路板(PCB)兩種工藝。
楊博士以線上的方式進行主題演講
硅通孔(TSV)技術(shù)盡管能實現(xiàn)高深徑比盲孔(孔徑<50μm,深徑比5~20:1)的鍍銅,然而對設備要求高,從而增加了封裝盲孔鍍銅工藝的成本。印制電路板(PCB)盲孔鍍銅工藝盡管設備成本較低,但一般僅適用于低深徑比的盲孔(孔徑100~200μm,深徑比0.5~1:1)。
而光華科技正是針對這項技術(shù)痛點進行深入研究,通過優(yōu)化現(xiàn)有PCB鍍銅工藝和化學品配方,成功在高深徑比的封裝級盲孔中實現(xiàn)鍍銅,并對其中的機理進行了研究。
研究從3個方面增加孔內(nèi)物質(zhì)交換能力,從而提高孔內(nèi)底部種子層連續(xù)性。其一,增加傳質(zhì)(加熱、超聲、振動);其二,增加溶液對基材表面的潤濕(添加表面活性劑);其三,增加盲孔底部潤濕步驟,使深徑比為1.5:1~2.0:1,孔徑為100或150μm系統(tǒng)級封裝微盲孔內(nèi)部形成了連續(xù)的種子層銅,提高了盲孔底部的上鍍率。
微盲孔填孔切片金相顯微鏡照片(孔徑為150μm,深徑比為1.7~1.9:1)
這種新的鍍銅技術(shù)良率高,可以適應形狀復雜的微盲孔。此外,生長上種子層的盲孔(深徑比1.5:1~2.0:1,孔徑150μm)通過直流電鍍銅的方法可以被成功填滿金屬銅。研究的結(jié)果為系統(tǒng)級封裝的深盲孔金屬化提供參考,也為高密度互聯(lián)PCB的深盲孔金屬化提供借鑒。
會議現(xiàn)場問答環(huán)節(jié)
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